在上个世纪六十年代里，edi水处理技术大多是应用在制药医疗、化学领域、电力制造、纸制品等领域，由于早期社会的科学技术比较落后，所以各类领域对于其用水质量要求不是很严格。到了六十年代末期，人们开始意识到工业用水水质的重要性，此时的超纯水制备工艺大多是利用蒸馏或者是离子交换原理进行。
　　蒸馏方式制备超纯水消耗物质多，而离子交换方式制备超纯水后期又需要通过药剂做再生处理，相对来说又对环境造成大规模的污染，并且通过离子交换原理制备的超纯水中TOC成分较大，所以说这两种工艺还不是理想的edi水处理技术，随着各类工业的发展，生产过程中水质要求也不断提升，所以有力的加快了edi水处理技术的发展。
　　到了上世纪七十年代末，反渗透、纳滤、超滤等膜技术出现了前所未有的长远发展，所以出现了新型混床装置代替了原始的离子交换制备装置，从源头上解决了TOC含量多的问题，但是，因为反渗透膜的脱盐率效果不是特别理想，除此以外，药剂再生污染环境的问题还是没有得到解决。
　　早期的edi水处理技术流程不够完善，可靠非常差，并且价格普遍呈现出走高趋势，目前，edi水处理技术成功的投入了产业化生产，采用该种工艺的EDI超纯水设备的产水质量能够和混床产水质量相比。